Vibrationssensor

Vibration sensor for use in vibration analysis system, has sensor structure arranged such that input signal parts of sensor signal having natural frequency is strengthened and signals parts with other frequencies are suppressed

Abstract

The sensor has a sensor structure (6) manufactured by a silicon-micro technology and comprising four springs suspended on a frame (8). The structure is arranged such that input signal parts of a sensor signal having a natural frequency is strengthened and the parts with other frequencies are suppressed. A crest system for capacitive signal detection and for electrostatic frequency adjustment is arranged at a movable resonator (7). Independent claims are also included for the following: (A) a vibration analysis system comprising a vibration sensor (B) a method for analysis of vibration.
Die Erfindung betrifft einen Vibrationssensor sowie eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vibrationsanalyse. Um eine einfache und kostengünstige Vibrationsanalyse durchzuführen, wird vorgeschlagen, für die Vibrationsanalyse frequenzselektive Vibrationssensoren einzusetzen, die nach dem Prinzip der Resonanzüberhöhung frequenzselektiv arbeiten. Im Gegensatz zu breitbandigen Sensoren arbeitet die frequenzselektive Sensorstruktur wie ein mechanisches Filter bei (ideal) einer Frequenz, was eine nachfolgende Fast Fourier-Transformation unnötig macht.

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