Electric polar plate production methode of vacuum sensor for capacitance

커패시턴스 진공센서의 전극판 제조방법

Abstract

본원 발명은 크기를 확대하지 않고 구성되는 부품과 가공공정과 조립이 간단해지고 절연체로 사용되는 알루미나 대신에 고순도인 유리를 사용함으로 인하여 절연체의 형성방법을 다르게 함으로 인하여 가공성이 쉽고 제조원가도 낮으며 전극면을 구면으로 하여 정전 용량값을 안정시켜주는 커패시턴스 진공센서의 전극판 제조방법에 관한 것이다. 따라서 본 발명에 따른 커패시턴스 진공센서에 의하면, 절연체를 센서 하우징(sensor housing)과 일체로 만들어짐으로 인하여 전극판을 만들어 주는 방법을 진공 증착 방법으로 함으로 인해 전극판 재질을 진공 증착이 가능한 모든 재질로 사용할 수 있도록 하였으며, 절연체의 면을 평면에서 구면으로 하여 정전 용량값을 안정화시켜주는 것이 가능하며 제조원가와 부품수의 삭감이 가능하며 이로 인하여 작업공정이 줄고, 공정의 안정성의 향상과 수율의 향상을 도모하는 것이 가능하다.
PURPOSE: A method and a structure for manufacturing an electrode plate of a capacitance vacuum sensor are provided to easily process and to reduce a manufacturing cost by using glass of high purity, and to stabilize electrostatic capacity value by having a spherical electrode surface at an end of an insulator. CONSTITUTION: A method for manufacturing an electrode plate of a capacitance vacuum sensor includes the steps of melting glass used as an insulator in a glass molding furnace, joining the melted glass with steel to be electrode(1), processing the integrally joined component in a sphere form, making an end of the insulator made of glass into a round electrode plate(6), jointing the electrode plate integrated with a sensor housing(2) with a diaphragm(4), and adhering to a vacuum ports(5,11)

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